Skip to main content

Thank you for visiting nature.com. You are using a browser version with limited support for CSS. To obtain the best experience, we recommend you use a more up to date browser (or turn off compatibility mode in Internet Explorer). In the meantime, to ensure continued support, we are displaying the site without styles and JavaScript.

  • Review Article
  • Published:

Laser processing of silicon

Abstract

The application of laser radiation to the processing of silicon and silicon-based solid state devices has developed in the past two decades. A few of these techniques are becoming established practice in the semiconductor industry, whilst others remain the subject of research and heated debate. Techniques include the solid phase and the liquid phase regrowth of amorphous silicon layers, together with the more novel application of laser photochemistry.

This is a preview of subscription content, access via your institution

Access options

Rent or buy this article

Prices vary by article type

from$1.95

to$39.95

Prices may be subject to local taxes which are calculated during checkout

Similar content being viewed by others

References

  1. Khaibullin, I. B., Shtyrkov, E. I., Zaripov, M. M., Galyautdinov, M. F. & Bajazitov, R. M. Paper No. 2061-74, (Viniti, Moscow, 1974 (in Russian)).

  2. Khaibullin, I. B., Shtyrkov, E. I., Zaripov, M. M., Bayzitov, R. M. & Galjanudinov, M. F. Radiat. Eff. 36, 225 (1978).

    CAS  Google Scholar 

  3. Foti, G., Rimini, E., Vitali, G. & Bertolotti, M. Appl. Phys. 14, 189 (1977).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  4. Ferris, S. D., Leamy, H. J. & Poate, J. M. Proc. Mater. Res. Soc. Symp. on Laser-Solid Interactions and Laser Processing (AIP, New York, 1979).

    Google Scholar 

  5. Anderson, C. L., Rozgonyi, G. A. & Celler, G. K. Laser and Electron Beam Processing of Electronic Materials (Electrochemical Society, 1980).

    Google Scholar 

  6. White, C. W. & Peercy, P. S. Laser and Electron Beam Processing of Materials (Academic, New York, 1980).

    Google Scholar 

  7. Gibbons, J. F., Hess, L. D. & Sigmon, T. W. Laser and Electron Beam Solid Interactions and Material Processing (North-Holland, Amsterdam, 1981).

    Google Scholar 

  8. Appleton, B. R. & Celler, G. K. Laser and Electron Beam Interactions with Solids (Elsevier, Amsterdam, 1982).

    Google Scholar 

  9. Kachurin, K. A., Nidaev, E. V., Khodyachikh, A. V. & Kovaleva, L. A. Soviet Phys. Semicond. 10, 1128 (1976).

    Google Scholar 

  10. Gat, A. et al. Appl. Phys. Lett. 33, 389 (1978).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  11. Auston, D. H., Golovchenko, J. A., Smith, P. R., Surko, S. M. & Venkatesan, T. N. C. Appl. Phys. Lett. 33, 539 (1978).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  12. Nissim, Y. I., Lietoila, A., Gold, R. B. & Gibbons, J. F. J. appl. Phys. 51, 274 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  13. Sigmon, T. W. IEEE Trans. nucl. Sci. 28, 1797 (1981).

    ADS  Google Scholar 

  14. Lau, S. S. in Proc. Mater. Res. Soc. Symp. on Laser-Solid Interactions and Laser Processing, 84 (AIP, New York, 1979).

    Google Scholar 

  15. Olson, G. L., Kokorowski, S. A., McFarlane, R. A. & Hess, L. D. Appl. Phys. Lett. 37, 1019 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  16. Lietoila, A., Gold, R. B. & Gibbons, J. F. Appl. Phys. Lett. 39, 810 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  17. Kokorowski, S. A., Olson, G. L. & Hess, L. D. J. appl. Phys. 53, 921 (1981).

    ADS  Google Scholar 

  18. Bagley, B. G. & Chen, H. S. in Proc. Mater. Res. Soc. Symp. on Laser-Solid Interactions and Laser Processing, 97 (AIP, New York, 1979).

    Google Scholar 

  19. Spaepen, F. & Turnbull, D. in Proc. Mater. Res. Soc. Symp. on Laser-Solid Interactions and Laser Processing, 73 (AIP, New York, 1979).

    Google Scholar 

  20. Zeiger, H. J., Fan, J. C. C., Palm, B. J., Gale, R. P. & Chapman, R. L. Laser and Electron Beam Processing of Materials, 234 (Academic, New York, 1980).

    Google Scholar 

  21. Chapman, R. L., Fan, J. C. C., Zeiger, H. J. & Gale, R. P. Laser and Electron Beam Solid Interactions and Materials Processing, 81 (North-Holland, Amsterdam, 1981).

    Google Scholar 

  22. Baeri, P., Foti, G., Poate, J. M. & Cullis, A. G. Phys. Rev. Lett. 45, 1036 (1980).

    ADS  Google Scholar 

  23. Kokorowski, S. A., Olson, G. L., Roth, J. A. & Hess, L. D. Phys. Rev. Lett. 48, 498 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  24. Auston, D. H., Golovchenko, J. A., Simons, A. L., Surko, C. M. & Venkatesan, T. N. C. Appl. Phys. Lett. 34, 777 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  25. Baeri, P., Compisano, S. U., Foti, G. & Rimini, E. J. appl. Phys. 50, 788 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  26. Wang, J. C., Wood, R. F. & Pronko, P. P. Appl. Phys. Lett. 33, 455 (1978).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  27. White, C. Radiat. Eff. 47, 37 (1981).

    Google Scholar 

  28. Leamy, H. J., Rozgonyi, G. A., Sheng, T. T. & Celler, G. K. Appl. Phys. Lett. 32, 535 (1978).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  29. Tsu, R., Hodgson, R. T., Tan, T. Y. & Baglin, J. E. Phys. Rev. Lett. 42, 1356 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  30. Leamy, H. J., Bean, J. C., Poate, J. M. & Celler, G. K. J. Cryst. Growth 48, 379 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  31. White, C. W., Narayan, J., Appleton, B. R. & Wilson, S. R. J. appl. Phys. 50, 2967 (1978).

    ADS  Google Scholar 

  32. Yoffa, E. J. Phys. Rev. B21, 2415 (1981).

    Google Scholar 

  33. Meyer, J. R., Barton, F. J. & Kruer, M. R. Phys. Rev. B21, 1559 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  34. Bertolotti, M. & Sibilia, C. IEEE J. Quant. Elect. QE- 17, 1980 (1981).

    ADS  Google Scholar 

  35. Lietoila, A. & Gibbons, J. F. Appl. Phys. Lett. 40, 624 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  36. Sai-Halasz, G. A. & Hodgson, R. T. Phys. Lett. 77 A, 375 (1980).

    Google Scholar 

  37. Narayan, J. & White, C. W. Phil. Mag. A43, 1515 (1981).

    CAS  Google Scholar 

  38. von der Linde, D. & Fabricus, N. Appl. Phys. Lett. 41, 991 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  39. Baeri, P., Compisano, S. U., Foti, G. & Rimini, E. J. appl. Phys. 50, 788 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  40. Bell, A. E. RCA Rev. 40 (1979).

  41. Schultz, J. C. & Collins, R. J. Appl. Phys. Lett. 34, 84 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  42. Bell, R. O., Toulemonde, M. & Siffert, P. Appl. Phys. 19, 313 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  43. Meyer, J. R., Kruer, M. R. & Bartoli, F. J. J. appl. Phys. 51, 5513 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  44. Lietoila, A. & Gibbons, J. F. Appl. Phys. Lett. 34, 332 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  45. Nilsson, N. G. & Svantesson, K. G. J. Phys. D13, 39 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  46. Wood, R. F. Appl. Phys. Lett. 38, 357 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  47. Jastrzebski, L., Bell, A. E., Wu, P. & Zanzucchi, P. J. J. appl. Phys. 52, 4276 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  48. Kim, D. M. & Kwong, D. L. IEEE J. Quant. Electron. 18, 224 (1982).

    ADS  Google Scholar 

  49. Meyer, J. R., Barton, F. J. & Kruer, M. R. Phys. Rev. B21, 1559 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  50. Wood, R. F. & Giles, G. E. Phys. Rev. B23, 2923 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  51. Jain, A. K., Kulkarni, V. N. & Sood, D. K. Appl. Phys. 25, 127 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  52. Van Vechten, J. A., Tsu, R., Saris, F. W. & Hoonhout, D. Phys. Lett. 74, 417 (1979).

    Google Scholar 

  53. Van Vechten, J. A., Tsu, R. & Saris, F. W. Phys. Lett. 74, 422 (1979).

    Google Scholar 

  54. Phillips, J. C. J. appl. Phys. 52, 7397 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  55. Lo, H. W. & Compaan, A. J. appl. Phys. 51, 1565 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  56. Lo, H. W. & Compaan, A. Phys. Rev. Lett. 44, 1604 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  57. von der Linde, D. & Wartmann, G. Appl. Phys. Lett. 41, 700 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  58. Merkle, K. L., Baumgart, H., Uebbing, R. H. & Phillipp, F. Appl. Phys. Lett. 40, 729 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  59. Liu, P. L., Yen, R., Bloembergen, N. & Hodgson, R. T. Appl. Phys. Lett. 34, 864 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  60. Cullis, A. G., Webber, H. C., Chew, N. G., Poate, J. M. & Baeri, P. Phys. Rev. Lett. 49, 219 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  61. Liang, P. H., Fang, C. J., Jiang, D. S., Wagner, P. & Ley, L. Appl. Phys. A26, 39 (1981).

    Google Scholar 

  62. Mourou, G. & Williamson, S. Appl. Phys. Lett. 41, 44 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  63. Zehner, D. M., White, C. W., Ownby, G. W. Appl. Phys. Lett. 36, 56 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  64. Cowan, P. L., Golovchenko, J. A. J. Vac. Sci. Technol. 18, 1197 (1980).

    Google Scholar 

  65. Auvert, G., Bensahel, D., Peris, A., Nguyen, V. T. & Rozgonyi, G. A. Appl. Phys. Lett. 39, 724 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  66. Roth, J. A., Olsen, G. L., Kokorowski, S. A. & Hess, L. D. Laser and Electron Beam Solid Interactions and Materials Processing, 413 (North-Holland, Amsterdam, 1981).

    Google Scholar 

  67. Lau, S. S. et al. Appl. Phys. Lett. 33, 130 (1978).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  68. Celler, G. K. et al. Laser and Electron Beam Solid Interactions and Materials Processing, 435 (North-Holland, Amsterdam, 1981).

    Google Scholar 

  69. Gat, A. et al. Appl. Phys. Lett 33, 775 (1978).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  70. Gibbons, J. F., Lee, K. F., Magee, T. J., Peng, J. & Ormond, R. Appl. Phys. Lett. 34, 831 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  71. Johnson, N. M., Biegelsen, D. K. & Moyer, M. D. Laser and Electron Beam Solid Interactions and Materials Processing, 463 (North-Holland, Amsterdam, 1981).

    Google Scholar 

  72. Biegelsen, D. K., Johnson, N. M., Bartelink, D. J. & Moyer, M. D. Laser and Electron Beam Solid Interactions and Materials Processing, 487 (North-Holland, Amsterdam, 1981).

    Google Scholar 

  73. Geis, M. W., Flanders, D. C. & Smith, H. I. Appl. Phys. Lett. 35, 71 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  74. Tamura, M., Tamura, H. & Tokuyama, T. Jap. J. appl. Phys. 19, L-23 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  75. Magee, T. J., Palkuti, L. J., Ormond, R., Leung, C. & Graham, S. Appl. Phys. Lett. 38, 248 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  76. Celler, G. K., Trimble, L. E., Ng, K. K., Leamy, H. J. & Baumgart, H. Appl. Phys. Lett. 40, 1043 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  77. Kawamura, S., Sakurai, J., Nakano, M. & Takagi, M. Appl. Phys. Lett. 40, 394 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  78. Iso, T., Sugahara, K., Nishimura, T., Akasaka, T. & Nakata, H. Appl. Phys. Lett. 40, 788 (1982).

    ADS  Google Scholar 

  79. Colinge, J. P., Demoulin, E., Bensahel, D. & Auvert, G. Appl. Phys. Lett. 41, 346 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  80. Poate, J. M., Leamy, H. J., Sheng, T. T. & Celler, G. K. Appl. Phys. Lett. 33, 918 (1978).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  81. Gat, A. et al. Appl. Phys. Lett. 32, 276 (1978).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  82. Liau, Z. L. Appl. Phys. Lett. 34, 221 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  83. Yang, E. S. & Yu, C. M. Appl. Phys. Lett. 37, 462 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  84. Doherty, C. J., Seidel, T. E., Leamy, H. J. & Celler, G. K. J. appl. Phys. 51, 2718 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  85. Harper, F. E. & Cohen, M. I. S.S. Elect. 13, 1103 (1970).

    Google Scholar 

  86. Pounds, R. S., Saifa, M. A. & Hahn, W. C. S.S. Elect. 17, 245 (1974).

    CAS  Google Scholar 

  87. Barnes, F. A. et al. Appl. Phys. Lett. 33, 965 (1978).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  88. Oraby, A. H., Murakami, K., Yuba, Y., Gamo, K. & Namba, S. Appl. Phys. Lett. 38, 562 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  89. Christensen, C. P. & Lakin, K. M. Appl. Phys. Lett. 32, 254 (1978).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  90. Baranauskas, V., Mammana, C. I. Z., Klinger, R. E. & Green, J. E. Appl. Phys. Lett. 36, 930 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  91. Ehrlich, D. J., Osgood, R. M. & Deutsch, T. F. Appl. Phys. Lett. 39, 957 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  92. Bäuele, D., Irsigler, P., Leyendecker, G., Noll, H. & Wagner, D. Appl. Phys. Lett. 40, 819 (1982).

    ADS  Google Scholar 

  93. Andreatta, R. W. et al. Appl. Phys. Lett. 40, 183 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  94. Hanabusa, M., Namiki, A. & Yoshihara, K. Appl. Phys. Lett. 35, 626 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  95. Bilenchi, R., Gianinoni, I. & Musci, M. J. appl. Phys. 53, 6479 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  96. Ehrlich, D. J., Osgood, R. M. & Deutsch, T. F. Appl. Phys. Lett. 36, 916 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  97. Deutsch, T. F., Ehrlich, D. J., Rathman, D. D., Silversmith, D. J. & Osgood, R. M. Appl. Phys. Lett. 39, 825 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  98. Ibbs, K. G. & Lloyd, M. L. Opt. Laser Technol. 35 (1983).

  99. Deutsch, T. F., Ehrlich, D. J., Osgood, R. M. & Liau, Z. L. Appl. Phys. Lett. 36, 847 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  100. Deutsch, T. F. et al. Appl. Phys. Lett. 38, 144 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  101. Turner, G. B., Tarrant, D., Pollock, G., Pressley, R. & Press, R. Appl. Phys. Lett. 39, 967 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  102. Deutsch, T. F. et al. Appl. Phys. Lett. 40, 722 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  103. Deutsch, T. F., Ehrlich, D. H. & Osgood, R. M. Appl. Phys. Lett. 35, 175 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  104. Ehrlich, D. J., Osgood, R. M., Silversmith, D. J. & Deutsch, T. F. IEEE Electron Dev. Lett. EDL- 1, 101 (1980).

    ADS  Google Scholar 

  105. Solanki, R., Boyer, P. K., Mahan, J. E. & Collins, G. J. Appl. Phys. Lett. 38, 572 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  106. Karlicek, R. F., Donnelly, V. M. & Collins, G. J. J. appl. Phys. 53, 1084 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  107. Tsao, J. Y., Ehrlich, D. J., Silversmith, D. J. & Mountain, R. W. IEEE Electron Dev. Lett. EDL- 3, 164 (1982).

    ADS  Google Scholar 

  108. Boyd, I. W., Wilson, J. I. B. & West, J. L. Thin Solid Films 83, L173 (1981).

    Google Scholar 

  109. Boyd, I. W. & Wilson, J. I. B. Appl. Phys. Lett. 41, 162 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  110. Boyer, P. K., Roche, G. A., Ritchie, W. H. & Collins, G. J. Appl. Phys. Lett. 40, 716 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  111. Ehrlich, D. J., Osgood, R. M. & Deutsch, T. F. Appl. Phys. Lett. 36, 698 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  112. Haynes, R. W., Metze, G. M., Kreismanis, V. G. & Eastman, L. F. Appl. Phys. Lett 37, 344 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  113. Ehrlich, D. J., Osgood, R. M. & Deutsch, T. F. Appl. Phys. Lett. 38, 1018 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  114. Osgood, R. M., Sanchez-Rubio, A., Ehrlich, D. J. & Daneu, V. Appl. Phys. Lett. 40, 391 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  115. Ehrlich, D. J. & Tsao, J. Y. Appl. Phys. Lett. 41, 297 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  116. Ehrlich, D. J., Osgood, R. M. & Deutsch, T. F. Appl. Phys. Lett. 38, 946 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  117. Cullis, A. G., Webber, H. C. & Bailey, P. J. Phys. (E): Sci. Instrum. 12, 688 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  118. Celler, G. K., Poate, J. M., Rozgonyi, G. A. & Sheng, T. T. J. appl. Phys. 50, 7264 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  119. Benton, J. L. Appl. Phys. Lett. 36, 338 (1980).

    Google Scholar 

  120. Koyanagi, M., Tamura, H., Miyao, M., Hashimoto, N. & Tokuyama, T. Appl. Phys. Lett. 35, 621 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  121. Hill, C. Laser and Electron Beam Processing of Electronic Materials, 26 (Electrochemical Society, 1980).

    Google Scholar 

  122. Teng, T. C., Shiau, Y., Chen, Y. S. & Skinner, C. Laser and Electron Beam Solid Interactions and Material Processing, 391 (North-Holland, Amsterdam, 1981).

    Google Scholar 

  123. Young, R. T., Narayan, J. & Wood, R. F. Appl. Phys. Lett. 35, 447 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  124. Zimmer, G. Electron. Lett. 15, 185 (1979).

    Google Scholar 

  125. Teng, T. C. Electron. Lett. 17, 627 (1981).

    CAS  Google Scholar 

  126. Eggermont, G. E. J. & De Groot, J. G. IEEE Electron Dev. Lett. EDL- 3, 156 (1982).

    ADS  Google Scholar 

  127. Yaron, G. & Hess, L. D. IEEE Trans. Electron. Dev. ED- 27, 573 (1980).

    ADS  Google Scholar 

  128. Kamins, T. I. & Pianetta, P. A. IEEE Electron Dev. Lett. EDL- 1, 214 (1980).

    ADS  Google Scholar 

  129. Herbst, D., Bosch, M. A., Lemons, R. A., Tewkesbury, S. K. & Harrison, T. R. Electron. Lett. 19, 12 (1983).

    CAS  Google Scholar 

  130. Greenwald, A. C. & Little, R. G. Solid State Technol. 143 (April, 1979).

    Google Scholar 

  131. Leamy, H. J. & Kimerling, L. C. J. appl. Phys. 48, 2795 (1977).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  132. Regolini, J. L. et al. Appl. Phys. Lett. 34, 410 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  133. Shibata, K., Inoue, T. & Takigawa, T. Jap. J. appl. Phys. 21, L294 (1982).

    ADS  Google Scholar 

  134. Yu, T., Soda, J. & Streetman, B G. J. appl. Phys. 51, 4399 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  135. Knapp, J. A. & Picraux, S. T. J. appl. Phys. 53, 1492 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  136. Golecki, I., Chapman, G. E., Lau, S. S., Tsaur, B. Y. & Mayer, J. W. Phys. Lett. 71 A, 267 (1979).

    Google Scholar 

  137. Nakata, J. & Kajyama, K. Appl. Phys. Lett. 40, 686 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  138. Hodgson, R. T., Baglin, J. E. E., Pal, R., Neri, J. M. & Hammer, D. A. Appl. Phys. Lett. 37, 187 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  139. Bomke, H. A., Berkowitz, H. L., Harmatz, M., Kronenberg, S. & Lux, R. Appl. Phys. Lett. 33, 955 (1978).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  140. Lue, J. T. Appl. Phys. Lett. 36, 73 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  141. Correra, L. & Pedulli, L. Appl. Phys. Lett. 37, 55 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  142. Nishiyama, K., Ari, M. & Watanabe, N. Jap. J. appl. Phys. 19, L563 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  143. Drowley, C. & Hu, C. Appl. Phys. Lett. 38, 876 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  144. Lue, J. T. & Chao, C. C. J. appl. Phys. 53, 984 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  145. Stultz, T. J., Sturm, J., Gibbons, J. F., Ichiki, S. K. J. appl. Phys. 53, 7109 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  146. Borisenko, V. E. & Labunov, V. A. Phys. Stat. Sol. A72, K173 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  147. Vu, D. P., Haond, M., D'Ouville, T. T., Perio, A. & Mingam, H. Electron. Lett. 19, 4 (1983).

    CAS  Google Scholar 

  148. Tsaur, B.-Y., Donnelly, J. P., Fan, J. C. C. & Geis, M. E. Appl. Phys. Lett. 39, 93 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  149. Fulks, R. T., Russo, C. J., Hanley, P. R. & Kamins, T. I. Appl. Phys. Lett. 39, 604 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  150. Vu, D. P., Haond, M., Bensahel, D. & Dupuy, M. J. appl. Phys. 54, 437 (1983).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  151. Geis, M. W., Antoniadis, D. A., Silversmith, D. J., Mountain, R. W. & Smith, H. I. Appl. Phys. Lett. 37, 454 (1980).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  152. Fan, J. C. C., Geis, M. W. & Tsaur, B. Y. Appl. Phys. Lett. 38, 365 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  153. Pinizzoto, R. F., Lam, H. W. & Vaandrager, B. L. Appl. Phys. Lett. 40, 388 (1982).

    ADS  Google Scholar 

  154. Geis, M. W. et al. Appl. Phys. Lett. 40, 158 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  155. Fan, J. C. C., Tsaur, B.-Y., Chapman, R. L. & Geis, M. W. Appl. Phys. Lett. 41, 186 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  156. Hill, C., Butler, A. L. & Daly, J. A. in Laser and Electron Beam Interactions with Solids, 238 (Elsevier, Amsterdam, 1982).

    Google Scholar 

  157. Young, R. T., Wood, R. F. & Christie, W. H. Appl. Phys. 53, 1178 (1982).

    CAS  Google Scholar 

  158. Fogarassy, E., Stuck, R., Grab, J. J. & Siffert, P. J. appl. Phys. 52, 1076 (1981).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  159. Legge, R. N. & Sharma, K. R. IEEE Electron. Dev. Lett. EDL- 1, 239 (1980).

    ADS  Google Scholar 

  160. Matsumoto, S., Gibbons, J. F. & Wu, F. C. J. appl. Phys. 53, 7020 (1982).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  161. Gibbons, J. F., Lee, K. F., Wu, F. C. & Eggermont, G. E. J. IEEE Electron Dev. Lett. EDL- 3, 191 (1982).

    ADS  Google Scholar 

  162. Boyd, I. W. thesis, Heriot-Watt University (1982).

  163. Csepregi, L., Kennedy, E. F., Mayer, J. W. & Sigmon, T. W. J. appl. Phys. 49, 3906 (1978).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  164. Csepregi, L., Mayer, J. W. & Sigmon, T. W. Appl. Phys. Lett. 29, 92 (1976); Phys. Lett. 54 A, 157 (1975).

    CAS  ADS  Google Scholar 

  165. Auston, D. H., Golovchenko, J. A. & Venkatesan, T. N. C. Appl. Phys. Lett. 34, 777 (1979).

    CAS  ADS  Google Scholar 

Download references

Author information

Authors and Affiliations

Authors

Rights and permissions

Reprints and permissions

About this article

Cite this article

Boyd, I., Wilson, J. Laser processing of silicon. Nature 303, 481–486 (1983). https://doi.org/10.1038/303481a0

Download citation

  • Published:

  • Issue Date:

  • DOI: https://doi.org/10.1038/303481a0

This article is cited by

Comments

By submitting a comment you agree to abide by our Terms and Community Guidelines. If you find something abusive or that does not comply with our terms or guidelines please flag it as inappropriate.

Search

Quick links

Nature Briefing

Sign up for the Nature Briefing newsletter — what matters in science, free to your inbox daily.

Get the most important science stories of the day, free in your inbox. Sign up for Nature Briefing